BOB半岛综合金融界 2024 年 8 月 4 日消息,天眼查知识产权信息显示,江苏卓胜微电子股份有限公司申请一项名为“基体的背面处理方法和半导体器件的形成方法“,公开号 CN5.5 ,申请日期为 2024 年 4 月BOB半岛综合。
专利摘要显示BOB半岛综合,本申请公开了一种基体的背面处理方法和半导体器件的形成方法。该基体的背面处理方法包括以下步骤:提供基体BOB半岛综合,基体的一侧依次具有半导体结构和阻挡层,基体的另一侧具有第一绝缘层;采用第一湿法刻蚀工艺去除第一绝缘层和部分阻挡层BOB半岛综合,第一湿法刻蚀工艺对第一绝缘层和阻挡层具有第一刻蚀选择比,第一刻蚀选择比大于 35:1;采用该背面处理方法可以使半导体器件正面部分不被刻蚀破坏,进而省去了购买半导体结构背面刻蚀机的费用,降低了半导体结构的制造成本BOB半岛综合。
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