BOB半岛综合联盛半导体科技取得硅片清洗花篮摆动机构专利可水平输送进出清洗槽快速

发布日期：2024-09-29 06:38 浏览次数：

　　BOB半岛综合金融界2024年9月27日消息，国家知识产权局信息显示，联盛半导体科技（无锡）有限公司取得一项名为“一种夹持架及采用该夹持架的硅片清洗花篮摆动机构”的专利，授权公告号 CN 221766706 U，申请日期为 2023年12月。

　　专利摘要显示BOB半岛综合，本实用新型公开了一种夹持架及采用该夹持架的硅片清洗花篮摆动机构，属于硅片清洗技术领域，夹持架包括架体、支撑纵杆、硅片清洗花篮抓取机构；硅片清洗花篮摆动机构包括转动纵轴、硅片清洗花篮、夹持架，转动纵轴两端上方各横向设有滑杆；各滑杆上设有可在所述滑杆上滑动的连接套；各连接套下端设有垂直于两滑杆的立板所述两立板之间形成支撑纵杆垂直运动运动长凹槽转动纵轴的一端与转动纵轴旋转驱动电机相连；位于前方立板的后侧面、位于后方的立板的前侧面设有限位滚轮排，转动纵轴上设有两垂直于转动纵轴的摆臂，各摆臂的远离转动纵轴端分别与支撑纵杆的两端铰接。夹持架及采用该夹持架的硅片清洗花篮摆动机构具有可水平输送，进出清洗槽快速的特点。

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BOB半岛综合联盛半导体科技取得硅片清洗花篮摆动机构专利可水平输送进出清洗槽快速(图1)