BOB半岛综合纳米压印技术甚至可以生产电路线纳米的产品,并且该业务在全球只有佳能才有。
佳能半导体机器业务部长岩本和德称,纳米压印就是把刻有半导体电路图的掩膜压印到晶圆上,压印1次就可以形成电路BOB半岛综合,如果改进掩膜,甚至可以生产电路线纳米的产品。
客户的实际成本可以降至传统光刻设备的一半BOB半岛综合,而且由于纳米压印设备的规模减小,在研发等用途上也更方便引进。
当被问及纳米压印光刻设备是否有其他竞争公司时,岩本和德表示,面向半导体光刻BOB半岛综合BOB半岛综合,开展纳米压印设备业务的在全世界只有我们公司,准入门槛很高。
从2017年左右开始,佳能就与铠侠和大日本印刷3家持续进行合作开发,“目前量产用途的实用化已有眉目,我认为可以面向客户销售。”
同时其还表示佳能已收到了半导体厂商、大学、研究所的很多咨询BOB半岛综合,“由于引进EUV光刻设备需要庞大成本,作为替代措施的纳米压印备就备受期待。”
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